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顯微鏡
您當前的位置 : 產品展示 精密光學檢測顯微系列 晶圓/硅片檢測顯微系統

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  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

SG-6351硅片檢測顯微鏡(研究級)

一、產品用途

   SG-6351硅片檢測顯微鏡,儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。在反射光照明下可進行明暗場和偏光觀察,又可在透射光照明下作明場觀察。本儀器配攝影裝置與顯微鏡相連接拍攝照片等。儀器造型新穎、性能良好、使用方便可靠,可供工廠、高等院校、科研機構及電子工業部門作金相、礦相、晶體、微電子等方面的試驗與分析研究之用。

二、產品特點

1. 穩定、高品質的光學系統使成像更清晰,襯度更好

2. WF10X(Φ22)大視野目鏡,無限遠系統金相物鏡。

3. 儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。

4. 在反射光照明下可進行明暗場和偏光觀察,又可在透射光照明下作明暗場觀察。

5. 顯微鏡配置了成像系統可實現在計算機上顯示圖像并保存圖片,圖像可進行各種處理、編輯、保存和輸出 (如打印等) 或進入多媒體系統及電子信箱。

三、技術規格

1. 光學系統:無限遠光學校正系統

2. 大視野目鏡WF10X/22mm

3. 平場無限遠長工作距離明暗場物鏡

放大倍數

數值孔徑N.A

工作距離(mm)

L L5×

0.10

29.4

PL L10×

0.25

16.0

PL L20×

0.40

10.6

PL L50×

0.55

5.10

PL L100X(干)

0.80

3.01

4. 顯微鏡總放大倍率:50×-1000×

5. 轉換器:帶DIC插孔孔轉換器

6. 雙層移動平臺,尺寸:190×160mm,移動范圍80×50mm

7. 調焦粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構,微動格值0.002 mm

8. 照明光源

① 透射照明:鹵素燈12V50W, AC85V-230V,亮度可調節

② 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V50W,AC85V-230V,亮度可調節

9. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍  ,內調焦距0~3mm  調焦后可鎖緊

10. 圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072×2048,26@1536×1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間: 0.244ms-2s;光譜響應范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數據接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調整。

11. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴展;長度,角度,弧長測量;點,線,平行線,垂直測量;園、橢圓測量;矩形,不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數測量。

四、標準配置

1. 正置金相顯微鏡/1

2. 三目觀察鏡筒/1只(在主機上)

3. 大視野目鏡10× /1

4. 無限遠金相物鏡5×、10×、20×、50×、100×./1

5. 0.5×專用適配鏡/1

6. YH-630顯微鏡工業相機/1

7. 0.01mm校準尺/1

8. 玻璃載物片/1

9. 備用鹵素燈泡/2

10. 產品合格證、保修卡及說明書/1

 


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